微壓差變送器，其工作原理是介質(zhì)的壓力直接作用在傳感器的膜片上，使膜片產(chǎn)生與介質(zhì)壓力成正比的微位移，使傳感器的電阻發(fā)生變化，利用電子線路檢測這一變化，并轉(zhuǎn)換輸出一個對應(yīng)于這個壓力的標(biāo)準(zhǔn)信號。

以潔凈室為例。潔凈室的壓差就是潔凈室與周圍空間所必須維持的靜壓差。對于潔凈室來說，必要的壓差是控制漏氣方向的手段，是正常工作的基本條件。相鄰潔凈室之間如果靜壓差過大或因建造原因帶來的縫隙，將會造成空氣泄漏，嚴(yán)重時會使?jié)崈羰覂?nèi)的氣流紊亂。微電子行業(yè)的潔凈室為了保證潔凈度，不允許低潔凈度的空氣向高潔凈度區(qū)域泄漏。

采用Dwyer MS系列 Magnesense®微差壓變送器進(jìn)行潔凈室測定，其優(yōu)勢體現(xiàn)在可用于監(jiān)測微壓/微差壓/真空，和監(jiān)測風(fēng)速/風(fēng)量。可自選出廠量程，可現(xiàn)場選擇公制/英制工程單位，可現(xiàn)場加裝LCD數(shù)顯，可調(diào)整輸出信號的阻尼系數(shù)，當(dāng)和皮托管或其它差壓風(fēng)速傳感器配合測量風(fēng)速風(fēng)量時，可選擇開方輸出。

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